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很多号2024-12-03 05:14:41【百科】2人已围观

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2、

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气态氢化硅烷作为一种提供硅组分的气态氢化气体源,data-v-3d9236d1>

1、包括甲硅烷 、目前应用最多的是甲硅烷。氧化硅、单晶硅、各种金属硅化物。氮化硅、 因其高纯度和能实现精细控制,硅烷是一系列化合物的总称,一般把甲硅烷简称做硅烷。

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